Fabrikasi Lapisan TiO2 menggunakan Metode Spin-Coating dengan Variasi Pengadukan dan Karakterisasi Sifat Optisnya

Abstract

Intisari Telah dilakukan penelitian mengenai fabrikasi lapisan TiO2 dengan metode spin-coating. Serbuk TiO2 di-sintesis dengan menggunakan metode ko-presipitasi yang diperoleh dari prekursor TiCl3 dengan variasi waktu pengadukan 5, 10 dan 25 jam. Serbuk TiO2 selanjutnya diuji XRD untuk mengetahui fasa yang terkandung. Analisis fasa menunjukkan bahwa semua serbuk yang disintesis memiliki fasa anatase dengan ukuran kristal 11,8 nm; 10,7 nm dan 9,6 nm seiring meningkatnya lama waktu pengadukan. Lapisan TiO2 difabrikasi dengan menggunakan metode spin coating dan dikarakterisasi menggunakan XRD, SEM dan UV-Vis spektrofotometer untuk mengetahui struktur, morfologi dan sifat optik. Keseluruhan lapisan yang telah difabrikasi memiliki fase anatase dengan morfologi permukaan yang kurang merata serta lapisan memiliki nilai celah energi 3,99 ± 0,2 eV; 3,98 ± 0,2 eV dan 3,97 ± 0,2 eV berurutan untuk lapisan 5, 10 dan 25 jam bergantung pada serbuk dan perlakuan saat fabrikasi. Abstract Fabrication of TiO2 film has been conducted. TiO2 nanopowders were prepared by co-precipitation method from TiCl3 as a precursor by varying their mixing time duration 5, 10 and 25 hours. TiO2 nanopowders were checked using XRD to examine their structure and having anatase phase with crystalline size of 11.8 nm, 10.7 nm and 9.6 nm respectively for the corresponding mixing duration. TiO2 film were fabricated using spin coating method then checked using XRD, SEM and UV-Vis spectrophotometer to examine their structure, morphology and optical properties. The prepared films also contain an anatase phase of TiO2 with non-uniform morphology and their respective band gap value are 3.99 ± 0.2 eV, 3.98 ± 0.2 eV and 3.97 ± 0.2 eV depending on the powders and their treatment.