The parameterless correction method in X-ray microanalysis

Abstract

The parameterless correction method to perform absorption and fluorescencecorrections in X-ray microanalysis of tranparent (S.) TE.M. specimensis presented and supported. This correction procedure requires noexternal parameters such as foil thickness or density, and no coefficientssuch as mass absorption coefficients or fluorescence yield coefficentsand is therefore suitable for fast routine thin film microanalysis.Furthermore, thickness dependent artefacts such as surface and contaminationlayers and crystallographic orientation effects (the Borrmann effect)can be detected by the method.R�sum�Une m�thode permettant de corriger les effets d'absorption et de fluorescenceen microanalyse X d'�chantillons transparents pour la microscopieen transmission (S.) TE.M. est pr�sent�e. Cette proc�dure n'exigeantla connaissance d'aucun param�tre comme l'�paisseur ou la densit�de l'�chantillon ni d'aucun coefficient comme les coefficients d'absorptionde masse ou encore des coefficients de rendement de fluorescence,est extr�mement utile et pratique pour effectuer des analyses deroutine d'�chantillons minces et a �t� appel�e : "parameterless correctionmethod". De surcroit tout effet d�pendant de l'�paisseur de l'�chantillon,comme la pr�sence de couches de surface ou l'effet d'orientationcrystallographique (l'effet Borrmann), peuvent-�tre d�tect�s parcette m�thode.