Die Nanoelektronik ist gekennzeichnet einerseits durch die Entwicklung der elektronischen Bauelemente auf Basis der vorherrschenden Siliziumtechnologie in Richtung auf kleinere Strukturgr{ö}{ß}en, h{ö}here Integrationsdichten und erweiterte Funktionalit{ä}ten, andererseits durch die Entwicklung neuer Materialien, Bauelemente und Systemarchitekturen. In der Nanoelektronik werden Strukturgr{ö}{ß}en von unterhalb 100 Nanometern bis hinab zu molekularen und atomaren Dimensionen erreicht oder f{ü}r die Zukunft angestrebt.
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Glesner, M., & Russer, J. (2013). Frontiers of the Nanoelectronics Panel Discussion (pp. 225–252). https://doi.org/10.1007/978-3-642-35791-6_13
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