Die praktische Ausführung der Elektronensonden-Mikroskope

Abstract

Die verschiedenen Einflüsse, die das Leistungsvermögen der Sondenmikroskope bestimmen, finden sich im Abschnitt C quantitativ behandelt. Dort sind auch die Grundgleichungen dieser Instrumente angegeben, die ihre optimale Dimensionierung gestatten. Die Mitteilungen im vorliegenden Abschnitt können sich daher auf die Angabe der Daten praktisch ausgeführter Anlagen, sowie auf die Beschreibung der Konstruktions- und Schaltungseinzelheiten beschränken Ebenso wie in den theoretischen Abschnitten wird von einer Spezialisierung dieser Mitteilungen auf die verschiedenen Sondenmikroskoptypen nach Möglichkeit abgesehen. Dieses Vorgehen ist deswegen gerechtfertigt, weil sowohl bei den Rastermikroskopen als auch bei den Elektronen- und Röntgenstrahlen-Schattenmikroskopen der weitaus überwiegende technische Aufwand in der allen Sondenmikroskopen gemeinsamen Anordnung zur Herstellung der feinen Elektronensonde liegt.