Elemental mapping using an imaging energy filter: image formation and resolution limits

Abstract

The formation of elemental maps in an electron microscope with animaging energy filter is discussed. The validity of the dipole approximationfor the computation of element specific images is demonstrated byexplicit comparison with central-field calculations. To obtain areasonable signal/noise ratio it is vital to use a finite energywindow. The attainable resolution is calculated as a function ofthe width of the energy window. A practical resolution limit of about1 nm seems feasible.R�sum�Cartographie chimique par filtrage d'�nergie: formation de l'imageet limite de r�solution. L'obtention des cartes chimiques avec unmicroscope �lectronique conventionel �quip� d'un filtre d'�nergieest discut�e. On justifie au moyen des calculs num�riques la validit�de l'approximation dipolaire. Afin de disposer d'un rapport de signal/bruitsuffisant, il est indispensable d'utiliser une bande d'�nergie finie.C'est pourquoi nous avons calcul� la r�solution spatiale en fonctionde la largeur �nerg�tique s�lection�e par le filtre: il nous paraitpossible de r�soudre des structures � l'�chelle de 1 nanom�tre.