CHẾ TẠO THANH NANO WO3 BẰNG PHƯƠNG PHÁP THUỶ NHIỆT ỨNG DỤNG TRONG CẢM BIẾN KHÍ CO

Abstract

Thanh nano WO3 đã được nghiên cứu chế tạo bằng phương pháp thủy nhiệt đơn giản, có giá thành thấp, sử dụng chất hoạt động bề mặt làm khuôn mềm và kết hợp với quá trình xử lý nhiệt. Hình thái và cấu trúc tinh thể của vật liệu thanh nano WO3 đã được khảo sát bằng kính hiển vi điện tử quét tán xạ trường (FE-SEM) và giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD). Cảm biến khí đã được chế tạo bằng kỹ thuật nhỏ phủ và khảo sát tính chất nhạy khí với khí độc CO tại các nhiệt độ làm việc khác nhau trong dải nồng độ từ 100 ppm đến 1000 ppm. Kết quả cho thấy, cảm biến cho độ đáp ứng cao nhất tại nhiệt độ làm việc 400 oC, ở nồng độ 1000 ppm khí CO độ đáp ứng Rair/Rgas có giá trị bằng 2,7 lần. Cảm biến có thời gian đáp ứng/hồi phục ngắn (7 s/11 s) và độ ổn định tốt sau sáu chu kỳ mở/đóng khí CO liên tiếp. Ngoài ra, tính chọn lọc của cảm biến cũng đã được nghiên cứu đối với các khí CO, NH3, CO2 và CH4.