KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NixFe1-x HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK EVAPORASI HAMPA

Abstract

KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NiXFe1-X HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIKEVAPORASI HAMPA. Telah dilakukan kajian sifat bahan lapisan tipis feromagnetik NixFe1-x hasil deposisi denganteknik evaporasi hampa. Kajian sifat bahan meliputi analisis komposisi bahan menggunakan metode XRF,resistivitas bahan lapisan tipis pada suhu kamar, dan transisi fase bahan lapisan tipis NixFe1-x. Hasil analisis denganmetode XRF diketahui bahwa komposisi lapisan yang terbentuk pada permukaan substrat relatif sama dengankomposisi bulk material yang dievaporasikan. Pengukuran resistivitas dengan metode probe empat titikmenunjukkan bahwa nilai resistivitas tergantung pada ketebalan dan komposisi bahan, serta resistivitas yangdiperoleh jauh lebih besar dibandingkan dengan resistivitas bulk material. Suhu transisi atau suhu Curie Tc yangdiperoleh memperlihatkan ketergantungannya terhadap komposisi bahan