Detektor Gas Oksigen dari Bahan Semikonduktor TiO2 Doping CuO

Abstract

Telah dilakukan karakterisasi detektor oksigen berupa pelet dengan bahan utama TiO2 didoping oleh CuO. Pelet detektor oksigen dibuat dengan variasi doping CuO 0%, 2%, 4%, 6%, 8%, dan 10% terhadap bahan utama TiO2. Proses pembuatan detektor oksigen diawali dengan pencampuran bahan, kalsinasi pada temperatur 500℃ selama 4 jam, penggerusan, kompaksi, dan sintering pada temperatur 700℃ selama 4 jam. Detektor oksigen diuji pada temperatur ruang (30℃) dengan melihat karakteristik I-V, nilai sensitivitas, nilai konduktivitas, waktu respon, dan karakterisasi XRD. Nilai sensitivitas tertinggi dihasilkan sampel 98% mol TiO2 + 2% mol CuO sebesar 10,98 pada tegangan 30 volt dengan waktu respon 55 s. Nilai konduktivitas tertinggi dihasilkan oleh sampel 90% mol TiO2 + 10% mol CuO pada lingkungan oksigen. Hasil XRD menunjukkan ukuran kristal sampel dengan doping lebih kecil daripada sampel tanpa doping. Pada doping TiO2 + 6% mol CuO telah terbentuk senyawa baru dengan puncak CuO.