TEKNOLOGI PROSES PRODUKSI SENSOR CAHAYA UNTUK PENGEMBANGAN ROBOTIK BERBASIS TEKNOLOGI LAPISAN TIPIS BAHAN FERROELEKTRIK BARIUM STRONSIUM TITANAT (BA0,55SR0,45TIO3)

Abstract

Lapisan film tipis ferroelectric telah digunakan untuk aplikasi dalam medan elektronik dan listrikoptik. Barium Strontium Titanate (BST) adalah material ferroelectric yang sangat atraktif dan menjadi pusat perhatian berkaitan dengan beberapa keuntungan diantaranya: rugi-rugi optik yang rendah, konstanta dielektrik rendah, dan kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mendapatkan sifat-sifat optik dan susunan kristal dari thin-film Ba0,55 Sr0.45Tio3 (BST)1 M. Annealing time 15 jam pada temperatur 750°C dan 775oC pada substrat silicon tipe-p dengan menggunakan metode Chemical Solution Decomposition (CSD) yang diikuti oleh proses spin coating pada 3000 rpm selama 30 detik. Pengujian sifat-sifat optik termasuk analisis transmitansi dan absorbansi, menunjukkan bahwa peningkatan suhu annealing dapat memperbaiki sifat absorbansi dan celah energi dari BST. Celah energi yang diperoleh dengan menggunakan plot tauc adalah 3.05 eV untuk temperatur annealing 750° C dan 3,225 eV untuk temperatur annealing 775o C. Susunan kristal dengan difraksi X-Ray (XRD) menunjukkan bahwa perbedaan temperatur annealing menyebabkan pergeseran sudut difraksi. Struktur pseudo tetragonal dari Ba0, 55Sr0.45Tio3 menjadi tetragonal (c / a <1) dan struktur kristal memiliki distribusi orientasi kristal.