Модификация гребневых волноводов полупроводниковых лазеров фокусированным ионным пучком

Abstract

We studied the influence of the focused ion beam milling of ridge waveguides on lasing parameters of edge-emitting lasers, based on a separate confinement double heterostructure. It is shown that there are three degrees of influence, according to the etching depth: modification of the waveguide properties only, a decrease in efficiency without changing the threshold current, and a simultaneous deterioration in the threshold current and efficiency with significant modification of the optical characteristics of the laser.Проведено исследование травления гребневых волноводов торцевых полупроводниковых лазеров на двойной гетероструктуре с раздельным ограничением фокусированным ионным пучком. Показано, что по степени влияния на лазерные параметры существует три диапазона глубин травления: травление на небольшую глубину приводит лишь к модификации характеристик волновода, увеличение глубины травления вызывает уменьшение дифференциальной эффективности без изменения порогового тока, более глубокое травление вносит дефекты в активную область и вызывает одновременное ухудшение порогового тока и дифференциальной эффективности при существенной модификации оптических характеристик лазера. Ключевые слова: фокусированный ионный пучок, полупроводниковый лазер, оптический волновод, одномодовый режим работы.