Diseño y fabricación de un aparato para el depósito de películas delgadas por el método de rotación

Abstract

La técnica de rotación se emplea ampliamente para el depósito de películas delgadas de diversos materiales. Se diseñó y construyó un aparato doméstico para el depósito de películas delgadas basado en el método de rotación. El equipo es compacto y ofrece un control digital, amplio rango de velocidades (desde 1 hasta 7500 rpm), estabilidad, etc. Para la primera fase del depósito, el aparato está programado para acelerar uniformemente de cero a 400 rpm en 30 segundos y permanecer en esta velocidad durante un minuto. En la segunda fase, el usuario puede elegir las condiciones de operación; es decir, velocidad y el tiempo.