Abstract
Die Nanoelektronik ist gekennzeichnet einerseits durch die Entwicklung der elektronischen Bauelemente auf Basis der vorherrschenden Siliziumtechnologie in Richtung auf kleinere Strukturgr{ö}{ß}en, h{ö}here Integrationsdichten und erweiterte Funktionalit{ä}ten, andererseits durch die Entwicklung neuer Materialien, Bauelemente und Systemarchitekturen. In der Nanoelektronik werden Strukturgr{ö}{ß}en von unterhalb 100 Nanometern bis hinab zu molekularen und atomaren Dimensionen erreicht oder f{ü}r die Zukunft angestrebt.
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Russer, P., Lugli, P., Hess, K., Russer, J., & Scarpa, G. (2013). Fernziele der Nanoelektronik (pp. 149–223). https://doi.org/10.1007/978-3-642-35791-6_12
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