Incremento de las propiedades mecánicas del Nitruro de Titanio mediante aplicación de un sistema multicapa de Tin/TiAlN depositado por pulverización catódica

Abstract

Multicapas de TiN/TiAIN fueron depositadas  mediante la técnica d.c. magnetrón sputtering reactivo, a partir de blancos de titanio y aluminio de 10 cm de diámetro y de 99.9% de pureza en una atmósfera de argón-nitrógeno, a una temperatura del sustrato de 300°C y presión de 7x10-3 mbar.  Como sustratos se utilizaron probetas de silicio con orientación  (100) y de acero AISI M2. Inicialmente, se investigó la influencia del contenido de aluminio sobre la dureza de los recubrimientos de TiAlN y posteriormente se analizó el comportamiento de las propiedades mecánicas de los recubrimientos de TiN/TiAlN en función del número de multicapas. Para tales efectos se determinó la composición química de los recubrimientos  mediante es pectroscopia EDX; la estructura cristalina por difracción de rayos X (XRD) y la morfología de crecimiento a través de microscopia electrónica de barrido (SEM). La dureza y la adherencia fueron determinadas por la técnica de la  microindentación y de rayado respectivamente.