Recent Status of Cold Plasma Utilization

Abstract

Atsushi KANZAWA 1. ‚Í ‚ ¶ ‚ß ‚É ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Í-‹,'¾-z,‰Î,ƒI •[ ƒ• ƒ‰,"d-£'w,•¯ ‚È‚Ç Ž©'R ŠE ‚É ‚à ‚» ‚Ì-á‚ð OE© ‚é ‚± ‚AE‚ª ‚Å ‚« ‚½ ‚Ì ‚Å,OE» •Û ‚» ‚Ì‚à ‚Ì ‚É 'Î ‚· ‚é ŠÖ•S ‚Í OEÂ-‚© ‚ç ‚· ‚Å ‚É ‚ ‚ ‚½.‚µ ‚© ‚µ-{ Ši "I ‚É ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Ì OE¤ ‹ † ‚ª ‚Í ‚ ¶ ‚ß ‚ç ‚ê ‚½ ‚Ì ‚Í, 20 •¢ ‹I 'O "¼ƒ‰ ƒ" ƒO ƒ~ ƒ…ƒA ‚ª ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚AE‚¢ ‚¤-¼ 'O ‚ð-p‚¢ ‚Ä ‚© ‚ç ‚Å ‚ ‚é. ˆÈ-ˆ,"V • ¶ ‚Ì •ª-ì ‚Å,•ú "d ‚Ì •ª-ì ‚Å,•¨-•‚Ì •ª-ì ‚Å ‚» ‚ê ‚¼ ‚ê ƒv ƒ‰ ƒY ƒ} ‚É ŠÖ‚· ‚é OE¤‹ † ‚ª •i ‚ß ‚ç ‚ê ‚Ä ‚« ‚½. 1950 "N 'ã ‚É ‚È ‚ ‚Ä •l •H '¾-z‚ð "ú Žw ‚µ ‚½ Šj-Z• ‡ ˜F ‚Ì OEš•Ý ‚ª ‹© ‚Î ‚ê,‚É ‚í ‚© ‚É ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Ì ' ¶ •Ý ‚ª ƒN ƒ• •[ ƒY ƒA ƒb ƒv ‚³ ‚ê ‚Ä‚« ‚½. 1960 "N 'ã ‚É "ü ‚é ‚AE ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Ì •Ï ‹É "I-˜-p‚Ì '› ‚µ ‚ª ‚Ý ‚ç ‚ê,ƒG ƒl ƒ‹ ƒM •[ ‚Ì •ª-ì ‚Å ‚Í Šj-Z• ‡ ‚Ì '¼ ‚É MHD "-"d, ‰F'ˆ ‚Ì •ª-ì ‚Å ‚Í ƒv ƒ‰ƒY ƒ} •" •i ‚â ƒX ƒy •[ ƒX ƒv ƒ‰ƒYƒ}, ‰»Šw ‚Ì •ª-ì ‚Å ‚Í ƒv ƒ‰ƒYƒ} ‰»Šw‚ª "-"W ‚µ ‚Ä ‚« ‚½. 1970 "N 'ã ‚© ‚ç OE»•Ý ‚É ‚© ‚¯ ‚Ä ‚Í •ã ‹L ‚Ì OE¤‹ † •EŠJ "-‚É ‰Á ‚¦ ‚Ä, ƒvƒ‰ ƒY ƒ} ‰» Šw •Eƒv ƒ‰ƒY ƒ} •¨-•‚ð ƒx •[ ƒX ‚AE ‚µ ‚½ ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ƒv ƒ•ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚â ƒOE•[ ƒU •[ ‚É ‚ae ‚é ƒv ƒ‰ƒYƒ} • ¶ •¬ •EOEv'ª ‚ª "-'B ‚µ‚Ä ‚« ‚Ä ‚¢ ‚é. ‚± ‚Ì ‚ae ‚¤ ‚É Še •û-Ê ‚Å ƒv ƒ‰ƒYƒ} ‚Ì-˜-p‚ª •i ‚ß ‚ç ‚ê ‚Ä ‚« ‚Ä ‚¢ ‚é ‚ª, ˆê OEû‚É ƒv ƒ‰ƒYƒ} ‚AE‚¢ ‚ ‚Ä ‚à ‰·"x, ˆ³-Í, •ì "® ƒK ƒX, "d-£"x ‚È ‚Ç ‚̈á‚Ìˆá ‚¢ ‚É ‚ae ‚ ‚Ä Še Ží ‚Ì ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚ª ' ¶ •Ý ‚· ‚é.-Ⴆ ‚Î, Šj-Z• ‡ "½ ‰ž˜F ‚É-p‚¢ ‚ç ‚ê ‚é '´ •‚ ‰· ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ,ƒv ƒ‰ ƒY ƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚É-p‚¢ ‚ç ‚ê ‚é "M ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚â 'á ‰· ƒv ƒ‰ ƒY ƒ}, MHD "-"d ‚É-p‚¢ ‚ç ‚ê ‚é "R •Ä ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚È‚Ç ‚Å ‚ ‚é.‚» ‚µ ‚Ä ‚» ‚ê ‚¼ ‚ê ‚Ì ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚É ‚Í "Á-L‚Ì ‹@"\ ‚ª‚ ‚è,‚» ‚ê ‚ç ‚Ì "Á •F ‚𠊈‚©Šˆ‚© ‚µ ‚½-˜-p‚ª •} ‚ç ‚ê ‚Ä ‚¢‚é. 2. ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO ƒv ƒ‰ ƒY ƒ} ‚Ì-˜-p‚ð 'å ‚« ‚-•ª ‚¯ ‚é ‚AE,ŠÔ •Ú "I-˜-p ‚AE'¼•Ú "I-˜-p‚AE‚ª ‚ ‚é.ŠÔ •Ú "I-˜-p‚AE ‚¢ ‚¤ ‚Ì ‚Í-˜-pOE¹ ‚ð • ¶ •¬ ‚· ‚é ‚Ì ‚É ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚ð-˜-p‚· ‚é ‚à ‚Ì ‚Å,‚± ‚ê ‚É ‚Í ƒG ƒl ƒ‹ ƒM•[ OE¹ ‚AE ‚µ ‚Ä ‚Ì Šj-Z• ‡ ‚â MHD "-"d,OEõ OE¹ ‚AE ‚µ ‚Ä ‚Ì ƒOE•[ ƒU •[ ‚â •ú "d OEõ‚ª ‚ ‚é .‚± ‚ê ‚ç ‚Í ‚¢ ‚ë ‚¢ ‚ë ‚È •H ‹AE "I-˜-p‚Ì OE¹ ‚AE ‚µ ‚Ä Šˆ-Šˆ-p‚³ ‚ê ‚Ä ‚¢ ‚-‚à ‚Ì ‚Å ‚ ‚é.'¼ •Ú "I-˜-p‚AE‚¢ ‚¤ ‚Ì ‚Í,ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚ð '¼ •Ú •¨ Ž¿ ‚Ì •ˆ-•‚â • ¶ •¬ ‚É-˜-p‚· ‚é ‚à ‚Ì ‚Å,ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚ª ‚± ‚ê ‚É 'Š "-‚·‚é. ƒv ƒ‰ƒYƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚Í,ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Ì ‚à ‚Â ‰»Šw"I •‚ Šˆ •«,•‚ ‰·"x,"d Ž¥ •ê • § OEä,•µ ˆÍ ‹C 'I 'ð •« ‚È ‚Ç ‚Ì "Á '¥ ‚𠊈-p‚µ ‚Ä,•V ‚µ ‚¢ •¨ Ž¿ ‚ð • ¶ •¬ ‚µ ‚½ ‚è •¨ Ž¿ ‚Ì ‹@"\ "I ‚È •ˆ-••E ‰Á •H ‚𠂨‚±‚¨‚± ‚È ‚¤ ‹Z •p ‚Ì ‚± ‚AE‚Å ‚ ‚é.‚· ‚Å ‚É ŽÀ-p‰»‚µ ‚Ä ‚¢ ‚é ‚à ‚Ì ‚à ‚ ‚è,‚³ ‚ç ‚É Ž¿ "I •E-Ê"I ‚É •L ‚ª ‚è ‚Â ‚ ‚ ‚é. OE» •Ý ‚± ‚ê ‚É OEĉž‚µ ‚Ä ŽGŽ• ‚Ì "Á •WŠé ‰ae ‚â •u •K‰ï ‚Ì ŠJ •Ã ‚ª •p "É ‚É ‚¨‚±‚¨‚± ‚È ‚í ‚ê ‚Ä ‚¢ ‚é.‚» ‚ê ‚ç ‚É ŠÖ˜A ‚· ‚é • ¶ OE£-á‚ð-"ö‚É ŽQ•l • ¶ OE£ ‚AE ‚µ ‚Ä Ž¦ ‚µ ‚½ (1)•`8)). ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚É ‚Í "ñ ‚ ‚Ì 'å ‚« ‚È "Á '· ‚ª ‚ ‚é. ˆê ‚ ‚Í ‚± ‚ê ‚Ü ‚Å ‚Å ‚« ‚È ‚© ‚ ‚½ •¨ Ž¿ ‚Ì • ¶ •¬ ‚â •ˆ-•‚ª ‰Â"\‚É ‚È ‚é ‚± ‚AE,‚à ‚¤ˆê‚¤ˆê ‚ ‚Í •¨ Ž¿ ‚Ì • ¶ •¬ ‚AEOE`‚AEOE`•ó ‚Ì • § OE䂪ˆêOE䂪ˆê ‚ ‚Ì ƒv ƒ• ƒZ ƒX‚Å ‚¨‚±‚¨‚± ‚È ‚¢ "¾ ‚é ‚± ‚AE‚Å ‚ ‚é.‚¢ ‚í ‚Î,ƒv ƒ‰ƒYƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚Í •V ƒv ƒ• ƒZ ƒX‹Z •p ‚Å ‚ ‚è ‚© ‚ •È ƒv ƒ• ƒZƒX ‹Z •p ‚Å ‚à ‚ ‚é. ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ƒv ƒ• ƒZ ƒV ƒ" ƒO‚É Žg-p‚· ‚é ƒv ƒ‰ ƒY ƒ} OE¹ ‚É ‚Í, "M ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚AE'á ‰· ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚ª ‚ ‚é.Žå ‚È ‰ž-p-á‚ð •}1‚É Ž¦ ‚·."M ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Í,"M-e-Ê‚ª 'å ‚« ‚¢ ‚± ‚AE ‚AE•‚ ‰·‚Ì ‰×"d-± Žq ‚ð ŠÜ ‚ñ ‚Å ‚¢ ‚é ‚± ‚AE‚ð-˜-p ‚µ,-n ‰ð•ˆ-•‚â "½‰ž•ˆ-•‚É-p ‚¢ ‚ç ‚ê ‚Ä ‚¢ ‚é.'á ‰· ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Í,‚± ‚± ‚Å •q ‚× ‚é ‚à ‚Ì ‚Å‚ ‚è,'á ‰· ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Ì ‚à ‚Â ‰»Šw"I •‚ Šˆ•Šˆ•«,'á ƒKƒX‰·"x ‚È‚Ç ‚Ì "Á '¥ ‚𠊈‚©Šˆ‚© ‚µ ‚Ä,Žå ‚AE ‚µ ‚Ä ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ' † ‚Å ‚Ì ‰» Šw"½ ‰ž‚ð-˜-p ‚µ ‚½ ‹Z •p ‚ª ŠJ "-‚³ ‚ê ‚Ä ‚¢ ‚é. 3. 'á ‰· ƒv ƒ‰ ƒY ƒ} 3•E1 'á ‰·ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚Ì "Á '¥ 'á ˆ³ ‚É ‚¨‚¯‚¨‚¯ ‚é ƒO ƒ• •[ •ú "d ‚È ‚Ç ‚É ‚ae‚ ‚Ä ‚ ‚-‚ç ‚ê ‚éƒvƒ‰ ƒY ƒ} ‚Í,"d Žq ‰·"x ‚ª 104K 'ö "x ‚AE•‚ ‚¢ ‚ª,OE´Žq OE´Žq ‚¨‚ae‚уC ƒI ƒ"‰· "x(ƒK ƒX‰·"x ‚AE‚¢ ‚¤)‚Í 300•`500K ‚AE'á ‚¢. ‚± ‚Ì ‚ae ‚¤ ‚È ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ‚ð,ƒK ƒX‰· "x ‚ª 'á ‚¢ ‚± ‚AE‚© ‚ç 'á ‰·ƒvƒ‰ ƒY ƒ},‚ ‚é ‚¢ ‚Í "d Žq ‚AEƒK ƒX ‚Ì ‰·"x ‚ªˆÙ‚ªˆÙ ‚È ‚é ‚± ‚AE‚© ‚ç "ñ •½ •t ƒv ƒ‰ ƒY ƒ} ‚È ‚Ç ‚AEOEÄ‚ñ ‚Å ‚¢ ‚é. 'á ‰· ƒv ƒ‰ƒYƒ} ‚Ì "Á '· ‚AE ‚µ ‚Ä ŽŸ‚Ì ‚± ‚AE‚ª ‹" ‚° ‚ç ‚ê ‚é. 'ae ˆê ‚É ,"d Žq ‰·"x ‚ª •‚ ‚¢ ‚Ì ‚Å,ƒv ƒ‰ƒY ƒ} ' † ‚É '• "ü ‚µ ‚½"½ ‰ž •« ƒKƒX ‚ð-eˆÕ ‚É-ã‹N ‚µ ‚½ ‚è ‰ð-£‚µ ‚½ ‚è,‚ ‚é ‚¢ ‚Í ƒ‰ƒWƒJ ƒ‹ ‰»‚µ ‚½ ‚è ‚· ‚é ‚± ‚AE‚ª ‚Å ‚« ‚é.'ae "ñ ‚É,ƒK ƒX‰·"x ‚ª 'á‚¢ •º ˜a 60 "N 9 OEŽ 4 "úŽó •t(Received Sep. 4, 1985) (ˆË-Š‰ð •à)