Zum Mechanismus der Auflösung von Galliumarsenid durch Oxydationsmittel

Abstract

Für die Auflösung von Halbleitern in oxydierenden Elektrolyten muß man 2 verschiedene Mechanismen gegenüberstellen. Oxydationsmittel, welche Defektelektronen injizieren können, wirken nach einem elektrochemischen Reaktionsmechanismus. Oxydationsmittel wieH 2 O 2 oder Br 2, welche 2 Elektronen gleichzeitig übernehmen und dabei 2 neue Bindungen eingehen können, bewirken eine direkte chemische Oxydation. Die Unterschiede zwischen beiden Mechanismen und ihre Besonderheiten für den untersuchten Halbleiter werden diskutiert. Bei Br 2 als Oxydationsmittel wurde eine Katalyse der elektrochemischen Oxydation durch die chemische Reaktion aufgefunden, deren Mechanismus erläutert wird. © 1969, Walter de Gruyter. Alle Rechte vorbehalten.